使用范围

用途
HF无油分子泵机组是由各性能分子泵、无油泵、通断放气阀、前级管路、断水保护器、分子泵电源、控制电源等组装而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于连接，性能可靠。可广泛应用于表面分析、加速器技术、半导体设备，等离子技术、电真空器件的制造及真空技术各领域。

应用领域
分析仪器；气相分析；电子显微镜；检漏仪等。

工作应用
显像管领域；光盘制造；镀膜行业；电子束焊接设备；ITO生产线；OLED生产线、幕墙玻璃生产线；离子刻蚀；半导体制造工业；真空炉；真空输送；照明灯生产工业；食品包装；电真空工业等。

科研领域
高能物理、表面物理、科研仪器、空间研究等真空技术领域。

性能规格

主要性能参数